ایستگاه کاری کوره لوله CVD چند منطقه ای شامل کوره لوله ای چند منطقه گرمایش، یک ایستگاه کنترل دقیق جریان جرم گاز،یک واحد پمپ خلاء بالا و سایر قطعات مونتاژ مانند لوله کورهTmax 1200 °C، نرخ خلاء نهایی به 10^-7 torr با واحدهای پمپ خلاء مولکولی می رسد.ایستگاه کنترل جریان جرم گاز، سه یا چند نوع گاز را با هم مخلوط می کند و گاز مخلوط را به یک لوله کوارتز یا لوله های فلزی در داخل کوره وارد می کندفرن لوله چند منطقه ای برای آزمایشات مانند CVD، انتشار و سایر درمان های حرارتی تحت حالت خلاء و حفاظت از جو مناسب است.
![]()
منظر جلو برای کوره لوله چرخشی 1200C
| شماره مدل | PTC D120/1000/12/3 |
| منطقه گرمایش |
چهار منطقه گرمایش |
| منبع برق | 15KW AC380-415V، 50/60Hz، سه فاز |
| دمای کار |
Tmax 1200°C (2192°F) |
| کنترلگر دما |
شیمادنکنترل کننده PID |
| نرخ گرمایش | ≤25°C / دقیقه |
| ترموکوپل | نوع N |
| پوشش اتاق | مواد اولیه میتسوبیشیکارت فیبر با مقدار بالای آلومینیوم 1500# |
| لوله کوره |
مواد: کوارتز یا فلز |
| فلنج های خلاء |
فلنج های مهر و موم SS304 |
| سطح خلاء |
حداکثر 10E-7 torr با پمپ مولکولی |
| عنصر گرمایش |
سیم کویل مقاومت HRE |
| اطلاعات حمل | وزن: 660 کیلوگرم W2150xL1200xH1360mm |
| رعایت | CE، ISO |
| تضمین | 18 ماه گارانتی محدود با پشتیبانی فنی عمر |
| نام محصول | PTC D40/440/12 | PTC D80/440/12 | PTC D100/440/12 |
| طول گرمایش | ۴۴۰ میلی متر | ۴۴۰ میلی متر | ۴۴۰ میلی متر |
| اندازه لوله | OD40xL800mm | OD80xL1000mm | OD100xL1000mm |
| قدرت | 4 KW | 7 KW | 8 KW |
| وزن خالص | ۱۰۸ کیلوگرم | 275 کیلوگرم | ۳۶۰ کیلو |