ایستگاه کاری کوره لوله CVD چند منطقه ای شامل کوره لوله ای چند منطقه گرمایش، یک ایستگاه کنترل دقیق جریان جرم گاز،یک واحد پمپ خلاء بالا و سایر قطعات مونتاژ مانند لوله کورهTmax 1200 °C، نرخ خلاء نهایی به 10^-7 torr با واحدهای پمپ خلاء مولکولی می رسد.ایستگاه کنترل جریان جرم گاز، سه یا چند نوع گاز را با هم مخلوط می کند و گاز مخلوط را به یک لوله کوارتز یا لوله های فلزی در داخل کوره وارد می کندفرن لوله چند منطقه ای برای آزمایشات مانند CVD، انتشار و سایر درمان های حرارتی تحت حالت خلاء و حفاظت از جو مناسب است.
منظر جلو برای کوره لوله چرخشی 1200C
شماره مدل | PTC D120/1000/12/3 |
منطقه گرمایش |
چهار منطقه گرمایش |
منبع برق | 15KW AC380-415V، 50/60Hz، سه فاز |
دمای کار |
Tmax 1200°C (2192°F) |
کنترلگر دما |
شیمادنکنترل کننده PID |
نرخ گرمایش | ≤25°C / دقیقه |
ترموکوپل | نوع N |
پوشش اتاق | مواد اولیه میتسوبیشیکارت فیبر با مقدار بالای آلومینیوم 1500# |
لوله کوره |
مواد: کوارتز یا فلز |
فلنج های خلاء |
فلنج های مهر و موم SS304 |
سطح خلاء |
حداکثر 10E-7 torr با پمپ مولکولی |
عنصر گرمایش |
سیم کویل مقاومت HRE |
اطلاعات حمل | وزن: 660 کیلوگرم W2150xL1200xH1360mm |
رعایت | CE، ISO |
تضمین | 18 ماه گارانتی محدود با پشتیبانی فنی عمر |
نام محصول | PTC D40/440/12 | PTC D80/440/12 | PTC D100/440/12 |
طول گرمایش | ۴۴۰ میلی متر | ۴۴۰ میلی متر | ۴۴۰ میلی متر |
اندازه لوله | OD40xL800mm | OD80xL1000mm | OD100xL1000mm |
قدرت | 4 KW | 7 KW | 8 KW |
وزن خالص | ۱۰۸ کیلوگرم | 275 کیلوگرم | ۳۶۰ کیلو |