1700C درجه حرارت بالا 3 منطقه آزمایشگاهی کوره لوله خلاء CVD با لوله آلومینیوم OD60mm

خلاصه ی محصول

PTC D60/600/17/3 یک کوره لوله ای 60mm OD 3 منطقه ای با فلانج بسته بندی خلاء کامل است.هر منطقه گرمایش است 12 "در طول و توسط سه دقیق کنترل شده 30 بخش از کنترل کننده های دمای دیجیتال به طور مستقلیک منطقه (مرکز منطقه) توسط عناصر Super-1800 MoSi2 تا 1700 °C گرم می شود و دو منطقه دیگر توسط عناصر SiC تا 1400 °C گرم می شوند.کوره لوله می تواند گرادیانت حرارتی مختلف را با تنظیم درجه حرارت سه منطقه ایجاد کند. این یک کوره عالی برای آماده سازی مواد کاربردی تحت گرادیانت حرارتی است و همچنین می تواند برای رشد فیلم epitaxial توسط CVD استفاده شود.

ویژگی های اصلی

• محدوده دمای کار 1200°C-1700°C
• ساختار فولادی دوگانه، کمترین از دست دادن گرما؛ سه منطقه گرمایش، به طور مستقل کنترل می شود
• 99.6٪ لوله آلومینیوم با SS304 باز شدن سریع آب خنک کننده فلانج های مهر و موم
• عناصر گرمایشی قدرتمند MoSi2 دمای یکسان را تضمین می کنند
• حجره ای با فیبر عایق برای حداکثر ثبات دمایی و یکنواخت
• کنترل کننده PID دیجیتال با 30 بخش قابل برنامه ریزی
• مجموعه ی جداگانه ای از دستگاه های تامین گاز، مخلوط کردن گاز با Ar، N2 CO، H2 و غیره
• ترموپول طولاني عمر نوع B
• گواهینامه CE

اقدامات ایمنی

• آمپر متر و دو ولت متر برای نظارت آسان و عیب یابی.
• محافظت از گرم شدن بیش از حد کوره را خاموش می کند اگر دمای خارج از محدوده قابل قبول باشد (به راهنمای کنترل کننده مراجعه کنید) یا وقتی ترموپول شکسته یا نقص داشته باشد.
• حفاظت از وقفه برق بلافاصله پس از نقطه وقفه، زمانی که قدرت دوباره ایجاد می شود، عملیات کوره را از سر می گیرد.
• کنترل PID مبتنی بر میکروپروسسر، فرآیند حرارتی بهینه را با حداقل تجاوز فراهم می کند

جزئیات محصول

کوره لوله خلاء CVD با درجه حرارت بالا 1700°C

• کوره لوله CVD با دمای بالا 1700C عمدتا از پنج قسمت تشکیل شده است: بدن کوره، لوله کوره، لوازم جانبی مهر و موم فلنج، سیستم تامین گاز،سیستم خلاء و سیستم کنترل دمای
• پوسته فولادی بیرونی کوره با ترشح و فسفات، پوشش پودری محیط زیست در سطح، مقاومت در برابر خوردگی و اکسیداسیون، فن خنک کننده داخلی،دمای سطح Rt+45°C
• انطباق با ISO، CE

پروفایل اتاق برای کوره لوله 3 منطقه ای با دمای بالا CVD 1700 °C

• عایق سرامیکی آلومینیوم بالا، حکاکی CNC، اتصال محکم دیوارهای اتاق، گرم کننده MoSi2 نوع U، مقاومت در برابر دمای تا 1800C
• طول گرمایش 600mm، مناسب برای قطر لوله آلومینیوم 60mm. لوله پردازش آلومینیوم بالا، مقاومت در برابر دمای تا 1700°C،بخش حیاتی از منطقه گرمایش در داخل لوله کوره مجهز به پلاگین لوله سرامیکی است، که می تواند به طور موثر از فرار گرما جلوگیری کند و از دست دادن گرما را کاهش دهد.
• ترموپول نوع B

فلنج باز شدن سریع، پشتوانه های لوله کوره، نوزل گاز پگودا 1/4 اینچی، واحد پمپ خلاء

• مجهز به لوازم جانبی فلانژ خنک کننده آب SS304 برای بارگذاری و تخلیه سریع مواد، با حلقه های مهر و موم لاستیک فلورین مقاوم در برابر دمای بالا
• ورودی و خروجی هوا از نوزل هوا G1 / 4 اینچی استفاده می کند که می تواند به یک لوله PTFE با قطر بیرونی 8 میلی متر متصل شود.
• واحد پمپ مولکولی متصل با KF25، اطمینان حاصل کنید که سطح خلاء به 10 * 5mbar رسیدن

برنامه های گرمایش برای 1700 درجه CVD HIGH TEMP 3 زون

• 30 بخش قابل برنامه ریزی، سرعت گرمایش 1-10C / دقیقه به طور آزاد تنظیم
• عایق گرمایی خوب، خنک کننده طبیعی، خنک کننده ملایم
• صفحه نمایش لمسی 7 اینچ اختیاری است، برنامه های گرمایش می تواند به موقع نشان داده می شود، و دانلود

Tمشخصات فنی

يادداشت هاي درخواست

• فشار لوله پردازش باید کمتر از 0.02MPa باشد
• منبع گاز باید دریچه کاهش فشار را مجهز کند
• قبل از پر کردن گازهای کاهش مانند H2، باید پمپ هوا از لوله
• هنگام پر کردن گاز از ورودی گاز در لوله، باید مطمئن شوید که شیر خروجی گاز باز است

مقایسه اندازه